真空球閥

真空球閥-Ball Valve

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商品型號: 球閥-High Purity Ball valves

用於半導體真空應用領域中的真空球閥、真空閥、真空管配件...等。

半導體行業的製造過程對球閥的要求最高——用於實驗室、特殊氣體、半導體和製藥行業的生產過程。二通真空球閥的設計目的是將球容納在中央真空室中，通過來迴旋轉閥桿 90°（1/4 圈）來打開和關閉。三通球閥的流量也可以通過四分之一圈手動或氣動傳遞。

規格：

• 主體材料：

 CF3M/SS316L 硫 0.005% ~ 0.017%

• 球墊材料：

 PTFE（閥墊的設計減少了磨損和閥門扭矩）

• 氦洩漏率：

 二通閥： < 1 X 10-7 mbar.l/sec.

• 可選：氣動/手動

• 多種連接選項：

 JIS 10K法蘭

 KF真空法蘭

 ISO真空法蘭

 快速接頭VCR

• 尺寸：

 KF25

 KF40

 KF50

 ISO63

 ISO80

 ISO100

• 表面 ：

 酸洗

 電拋光以防止腐蝕

 內外鏡面拋光

• 密封：

 PTFE

 Viton

 Other...

特徵：

清洗時間短

成本效益

優化死角的衛生連接設計

真空球閥