真空球阀

真空球阀-Ball Valve

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商品型号: 球阀-High Purity Ball valves

用于半导体真空应用领域中的真空球阀、真空阀、真空管配件...等。

半导体行业的制造过程对球阀的要求最高——用于实验室、特殊气体、半导体和制药行业的生产过程。二通真空球阀的设计目的是将球容纳在中央真空室中，通过来回旋转阀杆 90°（1/4 圈）来打开和关闭。三通球阀的流量也可以通过四分之一圈手动或气动传递。

规格：

• 主体材料：

 CF3M/SS316L 硫 0.005% ~ 0.017%

• 球垫材料：

 PTFE（阀垫的设计减少了磨损和阀门扭矩）

• 氦洩漏率：

 二通阀： < 1 X 10-7 mbar.l/sec.

• 可选：气动/手动

• 多种连接选项：

 JIS 10K法兰

 KF真空法兰

 ISO真空法兰

 快速接头VCR

• 尺寸：

 KF25

 KF40

 KF50

 ISO63

 ISO80

 ISO100

• 表面 ：

 酸洗

 电抛光以防止腐蚀

 内外镜面抛光

• 密封：

 PTFE

 Viton

 Other...

特征：

清洗时间短

成本效益

优化死角的卫生连接设计

真空球阀